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Découvrez la plateforme SURFACE
La plateforme SURFACE possède des moyens uniques d’élaboration et de caractérisations de couches minces. Elle rassemble une quinzaine de spécialistes de ces domaines et un parc expérimental estimé à 6 millions d’euro. Pour la partie élaboration, SURFACE dispose de réacteurs de dépôts physiques en phase vapeur (réacteurs industriels et d’architecturation) et de structurations des surfaces aux échelles micro- et nanométriques. Elle dispose également de moyens de dépôt en phase liquide et sous ultra-vide par évaporation thermique et par électro-spray.
Au niveau caractérisation, SURFACE propose également un large éventail de moyens de caractérisations de l’échelle atomique à l’échelle macroscopique : Diffraction des rayons X, microscopie électronique à balayage, spectroscopie de décharge luminescente, propriétés de conduction électronique et ionique, propriétés thermoélectrique et microscopie à champ proche (STM, AFM).
La plateforme SURFACE développe des collaborations aussi bien au niveau national qu’international avec des partenaires académiques (Institut Néel, Institut des Matériaux de Nantes, EPFL-Suisse, Argonne National Lab-USA etc.). SURFACE est également certifiée qualité ISO 9001, ce qui lui permet de nouer des partenariats avec de nombreux industriels comme FCI production, Cheval Frères, TOTAL ou FIAXELL-Suisse.
A propos de SURFACE
Les moyens d’élaboration de la plateforme SURFACE, pour la plupart de taille industrielle, rassemblent l’essentiel des technologies de dépôt physique en phase vapeur: arc cathodique sous basse pression, pulvérisation cathodique magnétron pour le dépôt de films métalliques et céramiques. Cette plateforme dispose également de moyens d’élaboration spécifiques au domaine de la recherche pour les dépôts de couches ultra-minces métalliques et organiques (chauffage par canon à électrons, electro-spray, dépôt en phase liquide par spin-coating…). La plateforme SURFACE est également dotée de moyens de caractérisation chimique (MEB-FEG + EDS, SDL), structurale (DRX), optique (spectromètre UV-visible-IR), mécanique (NHT, tribomètre pion-plan) et topographique de l’échelle micro (surfomètre) à nano (microscopes à force atomique (AFM) et à effet tunnel (STM)). Des bancs spécifiques de caractérisation électrochimique (corrosion, mesure de conductivité ionique, électrique), de mesures thermoélectriques (TFA) ou de capteurs de gaz sont également disponibles.
