Une nouvelle solution de positionnement

La nouvelle solution de positionnement CHARON2 est un système XY compatible avec les modules et options déjà existants. Avec une accélération de plus de 1 g et une vitesse supérieure à 1 m/s à double charge, ainsi qu’une précision de positionnement absolue inférieure à 1 µm, elle représente une solution clé en main destinée aux nouvelles applications du semi-conducteur. Elle offre une large gamme de solutions destinées au positionnement de wafers, de processus ou de contrôle de processus, allant d’un noyau XY à un système complet jusqu’à neuf axes, contrôlé indépendamment.