Une solution de positionnement innovante

La nouvelle plate-forme multiaxes TELICA est principalement destinée aux applications de semi-conducteur back-end. Son architecture à double portique permet des mouvements selon trois degrés de liberté, X, Y et Z, pour un nombre total de huit axes contrôlés. Elle a été conçue pour répondre aux exigences des procédés de die bonding (flip-chip, fan-out, emballages empilés 3D), de μ-LED bonding, d’applications de distribution, etc.
De par leur conception, les architectures de systèmes de mouvement conventionnelles sont optimisées, soit pour une précision de positionnement élevée, soit pour un débit élevé. Grâce à une architecture de système de mouvement novatrice, cette plate-forme multiaxes permet les deux, avec une précision de placement globale de ± 1 μm (mouvement aveugle). Elle est disponible en deux variantes standard, pour la gestion des plaquettes et pour la gestion des panneaux.

 

ETEL SA
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